仪器设备基本信息
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- 设备名称：陶瓷阴极与多弧复合离子镀膜机
- 仪器型号：FHA-700
- 所属单位：长春工业大学
- 所属类别：设备
- 设备原值：71.5 万元
- 制造厂商：沈阳卓越真空设备有限公司
- 生产国别：中国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
1真空室：Ф700×500，双层水冷式，公自转６轴式工件转架。
从常压抽至5×10-3Pa所需时间≤20min, TiN镀膜速率≥2μm/h，硬度≥1800Hv，膜层结合力用划痕试验机测试≥50N。镀膜温度350～450℃。 |
| 功能/应用范围 |
陶瓷阴极电子束镀膜技术与多弧离子镀技术相结合，将两项离子镀的优点及特长兼收并蓄，具有高离化率、高沉积率、晶粒细小均匀，无大颗粒现象，膜质细腻，致密度高、光洁度好、膜层结合力强等特点。该设备装备了计算机控制系统和触摸屏，使操作性更加简便、直观。可在镀制TiN、TiC、TiCN、CrN、ZrN的基础上开发TiAlN、纳米复合多层膜、DLC膜系等。 |
| 服务领域 |
,钢铁/有色金属,机械制造 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
320 |
收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式