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仪器共享 Sharing Instrument

设备名称：椭偏仪 仪器型号：SPEL M-2000VI 所属单位：吉林大学 所属类别：仪器 设备原值：832986.00 万元 制造厂商：美国J.A.Woollam 公司 生产国别：美国 购置日期： 当前状态：对外服务

主要技术指标	1、厚度范围：1nm～10um；厚度分辨率： 0.1nm?(1埃)； 2、重现性： 70nm?SiO2?on?Si,??cos(Delta)?±0.0003,?tan(Psi)?± 0.0002；? 3、光斑大小：300×1200?um?； 4、折射率精度：0.005； 5、光谱范围：?400～1000nm?（可选290～1050nm）； 6、光谱分辨率：1?nm?； 7、入射角度：70°（其他角度可选配）。
功能/应用范围	该设备采用旋转补偿专利技术保证Delta的准确测量，适用于探测薄膜厚度、光学参数n（折射率）、k（吸收率）值以及材料微结构。
服务领域	,仪器/仪表,其它
技术特色

对外服务 (平均时机／年)	-
收费标准 (元／样品)	面议

联系人	王艳辉
联系电话	13844090127