仪器设备基本信息
-
- 设备名称：扫描探针显微镜
- 仪器型号：Dimension Icon
- 所属单位： 吉林大学
- 所属类别：仪器
- 设备原值：122.7897 万元
- 制造厂商：德国布鲁克AXS有限公司
- 生产国别：德国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
X-Y扫描范围：90 μm * 90 μm
Z扫描范围：10 μm
X-Y定位误差：≤0.15 nm（闭环） ≤0.10 nm（开环）
Z传感器精度：35pm （RMS） |
| 功能/应用范围 |
光电器件样品表面形貌及表面粗糙度分析探测 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表,其它 |
| 技术特色 |
|
服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
- |
收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式