仪器设备基本信息
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- 设备名称：金属有机物化学气相沉积设备
- 仪器型号：D180
- 所属单位： 吉林大学
- 所属类别：仪器
- 设备原值：711009.82 万元
- 制造厂商：美国Emcore公司
- 生产国别：美国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
反应温度可达1000℃，红外光学探头测温，三区均匀性偏差在正负1℃以内，所制备的氧化物薄膜的厚度均匀性偏差在正负5%以内。 |
| 功能/应用范围 |
半导体薄膜生长 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表,其它 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
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收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式