仪器设备基本信息
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- 设备名称：光刻机
- 仪器型号：ABM/6/350/NUV/DCCD/M
- 所属单位： 吉林大学
- 所属类别：仪器
- 设备原值：1185700.76 万元
- 制造厂商：美国ABM公司
- 生产国别：美国
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
1.可应用于5mm2的样片到大于4英寸圆片双面光刻；
2.计算机控制操作系统，界面友好，操作简便；
3.显微镜对准系统物镜数值孔径大于3.0；
4.紫外光灯源波长范围350～400nm；
5.曝光光源功率不小于300W，光强不小于10mW/cm2；
6.4英寸范围光强均匀性 ≤±3%；
7.光刻分辨率 ≤ ±0.5μm
8.正面对准精度≤ ±0.5μm，背面对准精度≤ ±1μm
9.保修期不小于24个月，随机附带易损件； |
| 功能/应用范围 |
?紫外/深紫外光刻机是光电子、微电子、微机械加工和高分子化学等研究方向重要的工艺设备之一 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表,其它 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
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收费标准
(元／样品) |
面议 |
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