仪器设备基本信息
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- 设备名称：感应耦合等离子高密度刻蚀机
- 仪器型号：CE-300I
- 所属单位： 吉林大学
- 所属类别：仪器
- 设备原值：2656898.88 万元
- 制造厂商：日本ULVAC公司
- 生产国别：日本
- 购置日期：
- 当前状态：对外服务
仪器设备详细指标
| 主要技术指标 |
抗腐蚀大抽速机械泵和分子泵泵组，分子泵抽速不小于400L/s，真空度≤1×10-3Pa；
射频发生器功率不小于300W，高等离子密度（>1×1011 cm-3）；
温度可调下电极，腔室可承载6英寸基片；
4英寸直径SiO2和有机聚合物刻蚀，表面不均匀度≤5%，陡直度≥85° |
| 功能/应用范围 |
感应耦合等离子高密度刻蚀机（ICP）是光电子、微电子、微机械加工和高分子化学等研究方向的重要工艺设备之一。 |
| 服务领域 |
,仪器/仪表,其它 |
| 技术特色 |
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服务状况及收费标准
对外服务
(平均时机／年) |
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收费标准
(元／样品) |
面议 |
联系方式