| 功能/应用范围 |
能谱仪（EDS）与扫描电子显微镜（SEM）组合使用，在材料试样的微米至纳米尺度表面上通过电子碰撞产生X射线光子对材料表面微区元素组成进行定性、定量及分布检测，实现微观形貌和化学成分的同步分析。并配备EBSD(电子背散射衍射仪)。EBSD主要可做单晶体的物相分析,同时提供花样质量、置信度指数、彩色晶粒图,可做单晶体的空间位向测定、两颗单晶体之间夹角的测定、可做特选取向图、共格晶界图、特殊晶界图,同时提供不同晶界类型的绝对数量和相对比例,即多晶粒夹角的统计分析、晶粒取向的统计分析以及它们的彩色图和直方统计图,还可做晶粒尺寸分布图,将多颗单晶的空间取向投影到极图或反极图上可做二维织构分析,也可做三维织构即ODF分析。
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